技術(shù)文章
非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)
非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)
特征
測(cè)量樣品的反射率（干涉波形），并通過(guò)FFT（快速傅里葉變換）或其他方法分析薄膜厚度值。
除了薄膜厚度測(cè)量外，還可以測(cè)量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項(xiàng)包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測(cè)量、顏色測(cè)量和組分濃度分析。
測(cè)量數(shù)據(jù)可以保存為文件，以后重新分析。
由于還可以制造連續(xù)測(cè)量功能、橫移機(jī)構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能，因此也可以用作在線薄膜厚度測(cè)量。
| 測(cè)量范圍 （分辨率） | 0.01微米~50微米（0.1納米） |
|---|---|
| 0.5微米~50微米（0.1納米） | |
| 1微米~200微米（0.001微米） | |
| 4微米~800微米（0.001微米） |
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