本易威奇iwaki小型高速沖程的氣動風囊泵FS系列

高速沖程

提升泵的沖程速度 (gao達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。

無污染設計

過流端零件均采用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼采用氟樹脂材質。使用*的軸封，能顯著降低顆粒的產生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時適用于化學液體供藥。

易于維護

更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。

傳感器驅動系統

內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。

規格

本易威奇iwaki小型高速沖程的氣動風囊泵FS系列

高速沖程

提升泵的沖程速度 (gao達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。

無污染設計

過流端零件均采用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼采用氟樹脂材質。使用*的軸封，能顯著降低顆粒的產生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時適用于化學液體供藥。

易于維護

更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。

傳感器驅動系統

內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。

規格