產(chǎn)品資料
超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
產(chǎn)品名稱(chēng): 超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): SC-701AT
產(chǎn)品特點(diǎn): 超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)全自動(dòng)輕松制作電子顯微鏡用樣品通過(guò)預(yù)置方式，可以實(shí)現(xiàn)膜厚控制（簡(jiǎn)易型）。前処理裝置だからこその簡(jiǎn)単操作/高い再現(xiàn)性
超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī) 的詳細(xì)介紹
超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
超小型全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)涂布機(jī)
全自動(dòng)輕松制作電子顯微鏡用樣品
通過(guò)預(yù)置方式，可以實(shí)現(xiàn)膜厚控制（簡(jiǎn)易型）。
前処理裝置だからこその簡(jiǎn)単操作/高い再現(xiàn)性
全自動(dòng)輕松制作電子顯微鏡用樣品
通過(guò)預(yù)置方式，可以實(shí)現(xiàn)膜厚控制（簡(jiǎn)易型）。
前処理裝置だからこその簡(jiǎn)単操作/高い再現(xiàn)性
| 陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
| 射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
| 蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| 氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
| 真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min（自動(dòng)リーク付） |
| 排気操作 | 自動(dòng) |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米（SUS制造） |
| 試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
| 陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
| 射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
| 蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| 氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
| 真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min（自動(dòng)リーク付） |
| 排気操作 | 自動(dòng) |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米（SUS制造） |
| 試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
| 陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
| 射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
| 蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| 氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
| 真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min（自動(dòng)リーク付） |
| 排気操作 | 自動(dòng) |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米（SUS制造） |
| 試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
| 陰極 | φ2英寸/2極對(duì)向電極 |
| 射擊目標(biāo) | 附帶Au目標(biāo) |
| 蝕刻目標(biāo) | 附帶Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| 氣體引入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
| 真空泵 | 直結(jié)型ロータリーポンプ:20l/min（自動(dòng)リーク付） |
| 排気操作 | 自動(dòng) |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm×D120毫米（SUS制造） |
| 試料交換方法 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本體:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本體:15kg RP:9公斤 |
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