通過將熱式MEMS傳感器與耐腐蝕性高的石英玻璃制流路組合，實現了以往測量方式難以再現的高測量的數mL/min的微小液體流量的測量。

開發理念是不易受流體狀態變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響，易于對測量對象流體進行校正（通過流體的熱傳導率進行校正）的易用性。通過替代泵轉速、重量測量、流體供給時間管理等方法，替換為瞬間流量等。通過測量累計流量，可以基于更可靠的測量數值進行制造工序的質量管理和工序異常檢測。

製品紹介動畫

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0.可測量1mL/分鐘

采用了利用MEMS傳感技術的熱式測量原理，實現了以往難以穩定測量的數mL/min的微小流量測量。

（計測流量范囲：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）

小型?輕便，安裝簡單

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與傳統產品相比，體積更小。變得更輕了。

也不需要單獨放置的轉換器（放大器）。

使用附帶的安裝支架，可以從上面（水平配管時）輕松安裝。

也可以安裝在垂直管道上（流向：下→上）。

直接喝路徑

由于是直接流路，壓力損失較小，且無積液，清洗性優異。

高通用性

符合IP65防護結構標準。

由于產品外表面不使用任何金屬材料，因此即使在受到液體飛濺的環境中也能使用，提高了對腐蝕性流體的耐性。

接液部采用石英玻璃（流路）由氟樹脂（接頭）構成，傳感器不接觸液體，因此適用于各種流體（石英玻璃等）。可用于防止氟樹脂腐蝕的流體中。

與現有產品的比較

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F7M的測量原理

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修正前和修正后的輸出特性

測量范圍是流體的熱傳導率。受密度影響而變化，但可以通過校正功能調整輸出特性。

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