產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì)
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): M-336MX
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì)半導(dǎo)體制造裝置測(cè)量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空5×10?¹¹ – 1×10?² Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應(yīng) · 重量 0.9 kg
半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì)
半導(dǎo)體制造測(cè)量用高真空工藝監(jiān)測(cè)真空計(jì)
半導(dǎo)體制造裝置測(cè)量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空
5×10?11 – 1×10?2 Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應(yīng) · 重量 0.9 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造裝置測(cè)量用：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 晶體離子真空計(jì)：晶振 + 離子復(fù)合，5×10?11 – 1×10?2 Pa
- 高真空/超高真空：10?11 Pa 級(jí)，適合超高真空工藝監(jiān)測(cè)
- M-336MX：晶振 + 離子復(fù)合，0.1 s 響應(yīng)，重量 0.9 kg
二、核心技術(shù)參數(shù)（M-336MX）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 晶體離子復(fù)合（晶振 + 離子） |
| 測(cè)量范圍 | 5×10?11 – 1×10?2 Pa（5×10?11 – 1×10?2 Torr） |
| 精度 | ±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 0.1 s（晶振） / 1 s（離子） |
| 輸出信號(hào) | 0-10 V + RS-485 + 4-20 mA（實(shí)時(shí)） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 接觸材料 | 316L + 藍(lán)寶石（晶振） |
| 溫度范圍 | -10 – 80 ℃（無(wú)凝露） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 10 年（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- 5×10?11 Pa 超高真空：晶振 + 離子復(fù)合，10?11 Pa 級(jí)監(jiān)測(cè)
- 0.1 s 高速響應(yīng)：晶振 0.1 s，適合快速真空變化
- 0.9 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機(jī)械負(fù)載
- ±10 % 高精度：±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa），工藝重復(fù)性高
- 0-10 V + RS-485：實(shí)時(shí)真空度，可接 PLC / DCS
- 10 年壽命：晶振 + 離子復(fù)合，10 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體超高真空工藝┌─ 超高真空腔體 ─┐│ │真空← M-336MX ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 真空度 5×10?11 Pa，0.1 s 響應(yīng)，工藝實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
- RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）
- 真空腔：1×10?11 Pa，25 ℃
- M-336MX：
- 真空度 5×10?11 Pa（0.1 s）
- 精度 ±10 %（5×10?11 Pa）
- 壽命 10 年（連續(xù)運(yùn)行）
半導(dǎo)體制造裝置測(cè)量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空
5×10?11 – 1×10?2 Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應(yīng) · 重量 0.9 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造裝置測(cè)量用：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 晶體離子真空計(jì)：晶振 + 離子復(fù)合，5×10?11 – 1×10?2 Pa
- 高真空/超高真空：10?11 Pa 級(jí)，適合超高真空工藝監(jiān)測(cè)
- M-336MX：晶振 + 離子復(fù)合，0.1 s 響應(yīng)，重量 0.9 kg
二、核心技術(shù)參數(shù)（M-336MX）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 晶體離子復(fù)合（晶振 + 離子） |
| 測(cè)量范圍 | 5×10?11 – 1×10?2 Pa（5×10?11 – 1×10?2 Torr） |
| 精度 | ±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 0.1 s（晶振） / 1 s（離子） |
| 輸出信號(hào) | 0-10 V + RS-485 + 4-20 mA（實(shí)時(shí)） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 接觸材料 | 316L + 藍(lán)寶石（晶振） |
| 溫度范圍 | -10 – 80 ℃（無(wú)凝露） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 10 年（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- 5×10?11 Pa 超高真空：晶振 + 離子復(fù)合，10?11 Pa 級(jí)監(jiān)測(cè)
- 0.1 s 高速響應(yīng)：晶振 0.1 s，適合快速真空變化
- 0.9 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機(jī)械負(fù)載
- ±10 % 高精度：±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa），工藝重復(fù)性高
- 0-10 V + RS-485：實(shí)時(shí)真空度，可接 PLC / DCS
- 10 年壽命：晶振 + 離子復(fù)合，10 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體超高真空工藝┌─ 超高真空腔體 ─┐│ │真空← M-336MX ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 真空度 5×10?11 Pa，0.1 s 響應(yīng)，工藝實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
- RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）
- 真空腔：1×10?11 Pa，25 ℃
- M-336MX：
- 真空度 5×10?11 Pa（0.1 s）
- 精度 ±10 %（5×10?11 Pa）
- 壽命 10 年（連續(xù)運(yùn)行）
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
儀器儀表
- 氣體檢測(cè)儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計(jì)
- 角度計(jì)
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計(jì)
- 計(jì)量泵
- 尺子測(cè)量
- 測(cè)量?jī)x
- 密度計(jì)
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機(jī)
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動(dòng)泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計(jì)
- 濁度計(jì)
- 電導(dǎo)率儀
- 鹽分計(jì)
- 檢測(cè)儀
- 監(jiān)測(cè)儀
- 色度計(jì)
- 分光輻射計(jì)
- 差壓計(jì)
- 壓力表
- 料位計(jì)
- 電平計(jì)
- 比重計(jì)
- 流速計(jì)
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 扭矩計(jì)
- 應(yīng)力計(jì)
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計(jì)
- 摩擦計(jì)
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機(jī)
- 測(cè)定儀
- 露點(diǎn)儀
- 電氣爐
- 轉(zhuǎn)速表
- 水分計(jì)
- 濃度計(jì)
- 流量計(jì)
- 物位計(jì)
- 測(cè)厚儀
- 硬度計(jì)
- 光纖測(cè)定器
- 水分活性測(cè)定
- 熱風(fēng)計(jì)
- 數(shù)字照度計(jì)
- 風(fēng)速計(jì)
- 實(shí)體顯微鏡
- 環(huán)境測(cè)定計(jì)
- 躁聲計(jì)
- 真空計(jì)
- 液位計(jì)
- 高斯計(jì)
- 控制閥
- 壓力計(jì)
- 噴嘴類
- 泵類
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服